GDP
GDP 是 Gas Distribution Plate 的缩写，亦被称为 Showerhead、Cathode。
其作用是将工艺 Gas 均匀分布的关键部件，本公司主要提供的 CVD GDP 与 Y₂O₃ GDP 主要应用于半导体 dielectric Etch 工艺。
本公司主要支持寿命到期的 CVD GDP 与 Y₂O₃ GDP 的维修，备用用新品制作，或为设备改造及问题改善提供形状 / 结构 / 图案的 Modification。
可供应类型
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项目 |
主要供应类型 |
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使用工艺 |
•半导体 dielectric Etch 工艺
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主要材料 |
CVD、Y2O3 |
主要供应等级
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Level |
说明 |
制造工艺（标准 |
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L3 |
New Plate replacement |
来料检验 → 去键合 → （本体上下板分离 →）（本体修复 →）（本体重新阳极氧化 →）（本体上下板结合 →） → New Plate 键合 → 最终检验 → 清洗 + 包装 |
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新品 |
All New |
Plate & Body 制作 →（本体上下板结合 →）New Plate 键合 → 最终检验 → 清洗 + 包装 |
产品图片
CVDSiC GDP (Showerhead)
Y2O3 GDP (Showerhead)