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陶瓷加热器是为获得适当工艺温度而对基板进行加热的部件，本公司主要提供的陶瓷加热器主要应用于半导体 CVD 工艺。 主要材料为 AlN，本公司主要支持寿命到期陶瓷加热器的维修、备用用新品制作，或为‥
