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概要

工程を完成させる
中核部品

フォトチャック、真空チャック、ESC、GDP、セラミックヒーターなど、
各工程に最適化された設計と精密加工により、信頼性の高いソリューションを提供します。

フォトチャック

  • 半導体向け
  • ディスプレイ向け

真空チャック

  • ウエハ検査・計測装置向け
  • ハイブリッドボンディング向け

ESC

  • 半導体（ETCH / CVD / PVD / Implant / Laser dicing）
  • ディスプレイ（OLEDレーザーカッティング、OLEDoS蒸着）

GDP

  • 半導体（ETCH）

セラミックヒーター

  • 半導体（CVD / PVD）