KR

Overview

공정을 완성하는
핵심부품

포토척, 진공척, ESC, GDP, 세라믹히터까지
각 공정에 최적화된 설계와 정밀 가공으로 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.

포토척

  • 반도체용
  • Display용

진공척

  • Wafer 검사/계측 장비용
  • Hybrid 본딩용

ESC

  • 반도체 (ETCH / CVD / PVD / Implant / Laser dicing)
  • Display (OLED Laser cutting, OLEDoS deposition)

GDP

  • 반도체 (ETCH)

세라믹히터

  • 반도체 (CVD / PVD)