아이넥스엠에이티

적용 제품	적용 가능 Main 소재		적용 가능 기타 코팅
Vacuum chuck	Sintered SiC (SiC or S-SiC)		CVD of DLC CVD of Ti/TiN Sputtering of various metals Teflon
	Reaction Bonded SiC (Si-SiC)	(옵션 : 50% SiC, 75% SiC, 90% SiC)
	Bulk Al2O3	(옵션 : White, Black)
	Si3N4
	Porous Ceramics	(옵션 : 기공율, 기공사이즈 및 표면저항 다양)
	Others	Bulk CVD SiC Quartz / Zerodur Al-SiC MMC (옵션 : 30% SiC, 70% SiC) ZrO2 Al2O3 Coating (APS) (옵션 : White, Black)
ESC	Al2O3 Plate	Coulomb type (Black) JR type (White)
	Al2O3 Coating (APS)	Coulomb type (Black) JR type (White)
	AlN Plate	JR type
	Polymer Ceramics Coating	JR type
GDP	Bulk CVD SiC	(옵션 : High resistivity, Low resistivity)
GDP	Bulk Y2O3
Ceramic Heater	AlN Plate

Properties		Unit	SiC	Si-SiC 50%	Si-SiC 70%	Black Al2O3	Si3N4	Al2O3 99.5%
Main component purity		wt%	98	SiC 50% Si 30%	SiC 70% Si 30%	92	90	99.5%
Color		-	Black	Dark Grey	Dark Grey	Black	Gray	Ivory
Density		g/㎤	3.15	2.8	3.0	4.05	3.16	3.9
Water Absorption		%	0	0	0	0	0	0
Bending strength		MPa	490	300	400	324	750	360
Young’s modulus		GPa	450	280	410	340	285	370
Vickers Hardness		GPa	25	20	21	14	16	16
Coefficient of Thermal Expansion(RT)		1/K (×10⁻⁶)	3.9	4.0	3.8	8.65	2.7	7.7
Thermal Conductivity		W/m·K	155	175	192	-	23	32
Thermal Shock Resistance		∆T (K)	>300	>300	>300	-	700	250
Volume Resistivity	25℃	Ω • cm	10⁵	10^-2	10^-2	10⁸	10¹⁴	10¹⁵
Reflectance	wavelength 360nm	%	-	-	-	<7	-	-
주요 소재 선택 사유			ESD 적합한 저항 높은 경도 (내마모성)	SiC 대비 가벼운 무게 전기전도성	SiC 대비 가벼운 무게 전기전도성	ESD 적합한 저항 반사율 낮음 대면적 가능	고압, 고온에 변형이 적음	가공 용이성 가격 저렴
			광학 장비에 적합한 어두운 색상					광학장비용이 아닌 경우