분석/설계 기술
| 분석/설계 기술 | 활용 기법 및 장비 | |
|---|---|---|
| 일반 분석 |
일반 치수 | 3차원 측정기 (접촉, 비접촉), 조도형상 측정기 |
| 전기 특성 | LCR meter, 4-point probe, 내전압측정기, 절연저항측정기 | |
| 내부 결함, 구조 | 초음파 스캐너 | |
| 정밀 분석 |
평탄도 | 자이고 레이저 간섭계 |
| 표면 | 공초점 레이저 측정 현미경 (키엔스) | |
| 소재 특성 | SEM 이미징, EDS, XRF, 밀도계, 경도계 | |
| 소재 색상 | 색차계 | |
| 열해석 및 온도 시뮬레이션 설계 및 테스트 |
IR Camera, TC WAFER | |
| 진공척 성능 최적화 위함 설계 및 테스트 |
Warped Wafer용 설계 Flatness 최적화 패턴 장착 변형 최소화 방식 |
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