ESC（静電チャック）
ESCは、静電気の力を利用して基板を固定する部品です。当社が主に供給するセラミック製ESCは、CVD、PVD、イオン注入などの半導体エッチ関連工程に加え、レーザーカットやOLED蒸着などのディスプレイ工程にも使用されています。 主な材料としてはAlN、Al₂O₃、ならびに複合セラミックが挙げられます。 当社では、寿命を迎えたESCの修理、スペア用新品の製作に加え、装置改造や課題解決を目的とした形状・構造・パターンの変更にも対応しています。
供給可能タイプ
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項目 |
主な供給タイプ |
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使用工程 |
•半導体用エッチング工程（CVD、PVD、イオン注入、TSV／プラズマダイシング）
•ディスプレイ用OLEDレーザーカット、OLED蒸着工程
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主な材質 |
AlNプレート、Al₂O₃プレート、Al₂O₃コーティング |
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製品タイプ |
•チャッキング機構：クーロンタイプ、JRタイプ
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主な供給レベル
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レベル |
説明 |
製作工程（標準） |
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L1 |
表面処理 |
入荷検査 →（研削／ラッピング／ポリッシング）→ パターニング → 最終検査 → 洗浄＋組立＋包装 |
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L2 |
L1＋再接合 |
入荷検査 → デボンディング → 使用済みプレート接合 → L1工程 |
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L3 |
L2＋新規誘電体層 |
入荷検査 → デボンディング →（使用済みプレート接合 → 誘電体層研削）→ 新規誘電体層接合 → L1工程 |
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L4 |
L3＋新規ヒーター層 |
入荷検査 → デボンディング →（個別ヒーター層接合）→ 新規プレート接合 → L1工程 |
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新品 |
オールニュー |
プレート製作 → 形状加工 → 端子接合（ろう付け／はんだ付け 等）→（個別ヒーター層接合）→ 新規プレート接合 → L1工程 |
製品プロセス
製品イメージ
AlN、JRタイプ
AlN、JRタイプ
Al₂O₃、クーロンタイプ
Al₂O₃＋DLC、クーロンタイプ
Al₂O₃コーティング、JRタイプ