セラミックヒーターは、適切なプロセス温度を得るために基板を加熱する部品部品です。当社が主に取り扱うセラミックヒーターは、主に半導体CVD工程で使用されています。 主な材料はは AlN です。 ‥

GDPはGas Distribution Plateの略で、シャワーヘッド（Showerhead）やカソード（Cathode）とも呼ばれる、プロセスガスを均一に供給する部品です。当社が主に取り扱‥

ESCは、静電気の力を利用して基板を固定する部品です。当社が主に供給するセラミック製ESCは、CVD、PVD、イオン注入などの半導体エッチ関連工程に加え、レーザーカットやOLED蒸着などのディスプ‥

真空チャックは、真空圧によって基板を固定する部品です、当社が主に取り扱うセラミック製真空チャックは、検査・計測装置およびハイブリッドボンディング装置に使用されています。 主な材料としてはS-S‥