세라믹 히터는 적절한 공정 온도를 얻기 위해 기판를 가열하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 세라믹 히터는 주로 반도체 CVD 공정에 쓰입니다. 주요 소재는 AlN이며, 당‥

GDP는 Gas distribution plate의 약자로 Showerhead, Cathode로도 부릅니다. 공정 Gas를 균일하게 공급하는 역할을 하는 부품이며, 당사가 ‥

ESC는 정전기를 이용하여 기판를 고정하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 세라믹 ESC은 주로 반도체 Etch용 CVD, PVD, Implant 및 Display용 Laser‥

진공척은 진공압으로 기판를 고정하는 부품이며, 당사가 주로 취급하는 세라믹 진공척은 검사/계측 장비와 Hybrid Bonding 장비에 사용됩니다. 주요 소재는 S-SiC‥