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포토척은 빛을 이용하여 회로 패턴을 웨이퍼에 새기는 공정인 포토 리소그라피 공정에서 주로 진공압으로 기판를 고정하는 부품으로 반도체용 포토척은 Wafer table로도 불립니다‥
